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罗茨真空泵是在0.1-1000Pa真空范围具有较大抽速且成本较低的设备,他可以与多种真空泵组合组成真空机组,在较低压力时有效的提高抽速,扩大前级泵抽速范围。组合干式螺杆真空泵使用可确保被抽容器更加洁净,系统更可靠。所有产品在出厂前都做动平衡和泄露测试。
气体通过进气管路吸入泵腔内,由主真空泵排放至前级泵吸入口。由于转子旋转时,转子和机器外壳间隙较小(0.2~0.6mm),所以本产品可以实现洁净真空排放,即机器外壳和转子无需使用润滑油。同时,因为转子和机器外壳无接触,即转子在高速旋转时(最高3600rpm),也可以实现转子的半永久式使用。本产品不采用机械密封,长期化学作用不会导致轴承污染。
罗茨螺杆真空泵机组典型应用
化工和医药、半导体、溶剂回收、成型、结晶、干刻、溅镀、蒸汽回收、高空模拟。
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