ESDP干式螺杆真空泵

　吸入效率(提升15%)。　排气效率改善(2级可变，连续可变频率)。

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ESDP干式螺杆真空泵

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优点特征

　　吸入效率(提升15%)。

　　排气效率改善(2级可变，连续可变频率)。

　　极限压力：1*10-2Torr(托)。

　　排气温度降低50%。

　　电力消耗减少30%。

　　不使用油和水，不会造成油和水的污染。

　　低功耗、低噪音、低振动，动平衡好，没有惯性力，可高速运行。

　　设计结构简单，易保养，维修费用低，没有易损件，寿命长。

　　适用范围广，具有高真空性能。

　　使用寿命长，气体接触部位都具有聚四氟乙烯、镍和哈氏合金涂层。

　　不采用机械密封，密封部件无污染，不会因污染而频繁发生故障。

　　前后采用稀有润滑方式，提高轴承耐用性。

标准配件

　　基座和防护罩

　　排气消声器及进气分离器

　　吸气口

　　止回阀

　　真空计

可选配件

　　吸滤器

　　排气冷凝器

　　吸入式气液分离器

　　流量开关及温度开关

ESDP干式螺杆泵的应用范围

　　ESDP系列在半导体合成及液晶生产上的应用，主要有半导体等离子增强气相沉淀(PECVD)和反映离子刻蚀(RIE)工艺，液晶生产蚀刻制程和生产TFT荧幕电浆(PLASMA)的CVD制程中。此工艺要求返流为0，以保护工件免受污染。

　　在石油化工中，主要是抽取可凝性气体，或有毒气体，或腐蚀性气体，或含有微尘的气体。

　　制药行业，用于药物的真空干燥，药物中间体回收，回收气体消毒剂，为人造器官提供清洁无菌条件等。

　　化工中用于真空蒸馏及溶剂萃取回收，例如萃取回收丙酮，多元醇等工艺

　　工业排气;集中式真空处理系统

　　挤出机的混合工艺及板材的排气工艺

　　混合树脂脱腥工艺;在脂肪酸生产中用于消除水污染，及喷射器中的阻塞物

　　食品行业用于香料、香精浓缩，食品包装等。